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微電鑄金屬模具的制作方法
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微電鑄金屬模具的制作方法

發布時間:2018-11-15 11:33:39  

 一種微電鑄金屬模具的制作方法,包括模具基底前處理、微電鑄母模的制作、微電鑄、微電鑄后處理、模具的檢測工序,其特征是:采用“無背板生長法”,無背板生長法就是通過紫外線UV照射光刻掩模板[4]直接在鎳基板[1]上電鑄出微結構圖形;在微電鑄母模的制作工序中,在SU-8光刻膠[3]與基板[1]間加入了光刻膠的種子層[2];在微電鑄后處理工序中,采用真空退火,其制作方法的具體步驟如下: (1)模具基底前處理包括高純度鎳基板的機械加工前處理和表面清洗,表面清洗采用有機溶劑除油法,有機溶劑采用丙酮和乙醇; (2)在微電鑄母模的制作工序中,SU-8光刻膠[3]與種子層[2]采用光刻技術中的套刻工藝,通過光刻膠的顯影得到自由空間[5]; (3)在微電鑄工序中,將電鑄鎳金屬[6]填充于自由空間[5]中,微電鑄電鑄液的配方為氨基磺酸鎳:360~380g/L、氯化鎳:5~10g/L、硼酸:50~60g/L;微電鑄工藝條件為:PH值:3.5~4.0、溫度:50℃~55℃、電流密度1~2A/dm2。 (4)在微電鑄后處理工序中,先進行真空退火處理,其溫度為200~800℃、時間為60~200分鐘;再進行精磨加工。 按照該方法制作的微電鑄金屬模具具有側壁垂直度、表面光潔度好的優點,解決基于模塑法、熱壓法的大規模、低成本生產的聚合物、塑料產品質量低下的問題。適用于有機聚合物、塑料的微細加工。

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